Synthesis txheej txheem ntawm siab purity silicon hmoov
Cov yeeb yaj kiab nyias tau muab tso rau ntawm 1250 ~ 1350 ℃ los ntawm cov tshuaj lom neeg vapor deposition nrog flake graphite raws li cov duab tso thiab methyl chloroalkane / hydrogen ua cov tshuaj tiv thaiv roj thiab cov pa roj. Tom qab ntawd, lub siab purity silicon hmoov nrog particle qhov loj ntawm 200 ~ 1200 microns tau los ntawm oxidation, pickling thiab pulverization.
Txawm hais tias lub siab dawb huv thiab siab purity silicon hmoov tau npaj los ntawm txoj kev no, cov txheej txheem tom ntej yog nyuab, cov khoom siv raw tau kim thiab cov txiaj ntsig tau qis.
W. Zhu et al. tsim cov roj nplua nyeem zoo thiab siab-purity ntawm 1200 ~ 1400 ℃ los ntawm cov tshuaj vapor deposition, siv silane thiab acetylene raws li cov tshuaj tiv thaiv roj thiab hydrogen ua cov pa roj.
Siv hexamethylsilane ua cov tshuaj tiv thaiv qhov twg los thiab hydrogen thiab argon raws li cov khoom thauj roj, Anaguta li al. kuj npaj ultrafine high-purity thiab high-purity silicon hmoov los ntawm tshuaj vapor deposition ntawm 1050 ~ 1250 ℃.
Ob pawg neeg tau siv cov tshuaj vapor deposition (CVD) los tsim cov siab-purity silicon hmoov los ntawm cov organic roj. Txawm li cas los xij, nws yog nanoscale ultrafine hmoov uas tau ua. Txawm hais tias purity siab siab, nws tsis yooj yim rau kev sib sau, thiab tsis tsim rau huab hwm coj ntau lawm-purity siab-purity silicon hmoov, uas tsis zoo rau kev tsim kho tom qab kev lag luam.
Ib txoj kev tsim khoom rau kev sib kis tsis siv neeg
Hauv cov qauv no, silica hmoov thiab carbon xim dub tau siv los ua cov ntaub ntawv nyoos, thiab lwm cov neeg ua haujlwm pabcuam tau ntxiv los tsim cov hmoov ua kom ncaj qha ntawm 1000 ~ 1150 ℃. Cov lus qhia ntawm catalyst yuav zam kev cuam tshuam cov kev coj dawb huv thiab siab ntawm siab purity silicon hmoov.
Yog li, ntau tus kws tshawb nrhiav tau tawm tswv yim txhim kho tus kheej cov cuab yeej tshuaj tiv thaiv tus kheej ntawm cov hauv paus no. Kev txhim kho lub ntsiab yog kom tsis txhob qhia txog cov neeg ua haujlwm thiab ua kom paub tseeb tias kev tsim khoom lag luam txuas ntxiv los ntawm kev tsim khoom kub thiab tsim kom muaj cua sov.
Thaum pib xyoo 1999, Nyijpooj nrog ethyl osilicate li silicon qhov chaw, phenolic resin ua cov pa roj carbon ntau, nyob rau thaj tsam ntawm 1700 ~ 2000 ℃ siv cov txheej txheem sib txuas los tsim cov hmoov loj ntawm 10 ~ 500μm hmoov, qhov loj ntawm qhov loj ntawm cov ntsiab lus tsis huv yog tsawg dua 0.5 10-6.
Txawm li cas los xij, cov tshuaj tiv thaiv ntawm cov qauv no siv cov organic teeb meem, yog li cov nqi raw khoom yog qhov siab, uas tsis yog txhawb rau kev lag luam loj ntawm cov siab-purity silicon hmoov. Cov kws tshawb nrhiav ntawm Shanghai lub koom haum ntawm Silicon Tshawb Nrhiav, Suav Academy ntawm Kev Tshawb Fawb, tsim tawm 99.9 feem pua thiab 99.999 feem pua cov huab hwm coj nyob hauv cov huab cua ntawm argon thaum kub.
Et al. siv cov pa roj carbon tshuab (cov khoom loj 20-100 micron) thiab flake graphite (qhov loj me 5-25 micron) raws li cov khoom siv carbon (qhov loj feem ntawm 99.9%) thiab siab-purity silicon raws li cov khoom siv silicon (qhov loj me 10-270 micron, huab hwm coj feem ntau 99.999 %) feem.
Lub siab dawb huv silicon hmoov tau npaj rau hauv lub tshuab nqus tsev sintering rau hauv qab ntawm cov cua ntawm argon ntawm 1900 ℃. Cov txiaj ntsig pom tau tias qhov kev coj dawb huv ntawm lub tshuab nqus tsev siab silicon yog qhov zoo dua qhov kev lag luam roj. Ib qho ntxiv, lub siab ntshiab silicon hmoov ua nyob rau hauv lub tshuab nqus tsev siab siab yog siv los cog ib qho siv lead ua. Cov txiaj ntsig pom tau hais tias lub zuj zus pob khoom muaj ntau qhov muaj qhov tseeb thiab muaj lub siab zoo ntawm cov khoom siv, uas ua tau raws li qhov yuav tsum tau ua ntawm cov hluav taws xob ເຄິ່ງ insulating rau cov khoom siv sib thooj. Kev zeem cia ntawm siab purity hmoov tsim tshuab
Txhim kho tus kheej kev tsim tus kheej yog ib qho qauv siv rau kev loj hlob ntawm ib qho khoom siv hluav taws xob hauv chav kuaj vim nws cov khoom siv qis tus nqi thiab cov txheej txheem yooj yim. Nws pom tau tias cov kev sib txawv ntawm cov txheej txheem kev sib txawv muaj qee yam cuam tshuam rau kev tsim khoom.
Niaj hnub no, nws yog qhov tsim nyog los ua kom muaj kev tshawb fawb hauv cov hauv qab no:
1. Kev tsim cov tshuab ntawm high-purity silicon hmoov tau kawm txog qhov tob, tshwj xeeb tshaj yog qhov kev xav ntawm kev tswj cov khoom siv xws li cov particle loj, cov duab, cov loj faib faib thiab kev ua kom huv.
2. Yuav ua li cas ntxiv dag zog rau kev tshawb fawb los txhim kho siab purity silicon hmoov tsim txoj kev siv tsis siv neeg, kom npaj siab siab purity hmoov nrog cov khoom zoo thiab siab purity, haum rau ib qho kev loj hlob siv lead ua rau lub hauv paus ntawm tus nqi qis thiab txheej txheem yooj yim, yog li ua tau zoo txhim kho qhov zoo ntawm kev loj hlob ntawm SiC ib leeg siv lead ua substrate, txhawb kev tsim khoom ntawm cov cuab yeej thov kev lag luam hauv Suav.
